円筒座標ロボットは、どのような分野で用いられているのでしょうか。用途と導入事例を紹介します。
用途
円筒座標ロボットは、主に半導体や液晶の搬送に用いられています。搬送は反復作業のみ、なおかつ複雑な作業がないため、円筒座標ロボットに適した用途です。
導入事例
円筒座標ロボットの導入事例を2つ紹介します。
ウェーハ搬送（クローズドループ制御機能あり）
クリーンルーム内でウェーハをケースに搬送する作業を行う円筒座標ロボットです。回転軸が4つあるため、手前から奥への移動や微細な高さ調節など、より細かな動きに対応します。また、クローズドループ制御機能があり、急激な負荷の変動や速さの変化にも対応して稼働します。
ウェーハ搬送（電力線通信技術搭載）
同じくウェーハ搬送を行う円筒座標ロボットです。高剛性のあるアームにより、高速作業にも対応可能です。また、通信技術が搭載されているため、操作を外部からコントロールすることができます。工場を自動化する場合にも組み込みやすく、発展性のあるロボットです。
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